สังกัดคณะสงฆ์ธรรมยุต ตั้งเมื่อ พ.ศ. 2417 เดิมชื่อวัดจำเริญธรรมวิหาร ในสมัยรัชการที่ 5 พระยาจรัญญานุกูลมนตรี ได้มาบูรณะปฏิสังขรณ์ และตั้งชื่อวัดให้สอดคล้องกันนามผู้สร้างว่าวัดจำเริญธรรมวิหาร ได้รับพระราชทานวิสุคามีมาเมื่อ 21 พฤศจิกายน 2532 สิ่งก่อสร้างที่สำคัญคือพระปรางค์ พระนอนสร้างด้วยศิลาแลง ศิลปะสมัยลพบุรี พระอุโบสถสร้างสมัยรัชกาลที่ 5 ส่วนชื่อวัดอรัญญิกาวาส เป็นชื่อถูกเปลี่ยนในภายหลัง ไม่มีหลักฐานปรากฏแน่นอน

วัดอรัญญิกาวาส เป็นวัดเก่าแก่ในศตวรรษที่ 10-16 (หรือราวปี พ.ศ.1030) สร้างพร้อมเมืองราชบุรีในสมัยขอม พื้นที่วัดตั้งอยู่ในเขตที่ราบลุ่มห่างจากแม่น้ำแม่กลองมาทางทิศตะวันตกประมาณ 2 กิโลเมตร บริเวณโดยรอบมีสภาพเป็นทุ่งนา เดิมเรียก “วัดจำเริญธรรมวิหาร”วัดนี้เคยถูกทิ้งร้างไประยะหนึ่ง กระทั่งเจ้าคุณมหาสมณวงศ์ เจ้าอาวาสวัดมหาสมณารามที่เขาวังเมืองเพชรบุรีธุดงค์มาถึง จึงบูรณะและเป็นเจ้าอาวาส ดังปรากฏหลักฐานในพระราชนิพนธ์ของพระบาทสมเด็จพระจุลจอมเกล้าเจ้าอยู่หัว เรื่อง เสด็จประพาสไทรโยค จ.ศ.1239 (พ.ศ.2420) ความว่า “.....วัดนี้เป็นวัดธรรมยุติกา ยังวัดอรยิกที่พระยาธรรมจรรยามาสร้างเปลี่ยนชื่อวัดจำเริญธรรมวิหาร.....” โบราณสถานสำคัญภายในวัดประกอบด้วย 1.ปรางค์ขอม-เขมร 2.พระพุทธไสยาสน์(พระนอน) 3.อุโบสถ 4.เจดีย์รายทรงระฆัง 5.สระน้ำ กรมศิลปากรประกาศขึ้นทะเบียนโบราณสถานวัดอรัญญิกาวาสเมื่อวันที่ 20 พฤษภาคม พ.ศ.2541